2020-06-08
近幾年以來,稀土元素氯化鈰摻雜磷光發光研究因為在諸如發光材料、激光、光纖放大器、高密度光存儲和電致發光顯示器件等領域有普遍的潛在應用前景,而得到很廣的關注。其中,稀土摻雜的薄膜發光材料又因其在平板顯示中的應用前景格外引人關注。然而,這方面材料的開發速度較為緩慢。到目前為止,只有Zn,Ca和Sr的硫化物和硒化物是大家認同的發光基質材料。
雖然,在硫化物發光機理材料方面取得了很大的進步,但是氯化鈰的發光壽命退化因素限制了它的實際應用優勢。與傳統的硫基發光材料相比,氧基發光材料如氧化鋁已經證明是潛在的的薄膜發光材料,這主要是因為,它的高的透明,優良的化學和熱穩定性,和相對高的發光亮度。
許多種薄膜沉積技術如射頻磁控濺射、化學氣相沉積、脈沖激光沉積、原子外延生長和溶膠凝膠方法等都被應用于發光薄膜材料的制備。其中,中頻反應磁控濺射技術是相對成本較低、適合于大批量生產的成熟技術。它已經在薄膜生產中得到普遍應用。
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